容器組件
分光干涉式晶片厚度計
- 產品名稱：分光干涉式晶片厚度計
- 產品型號：SI-F80R 系列
- 產品廠商：KEYENCE基恩士
- 產品文檔：
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簡單介紹
分光干涉式晶片厚度計
的詳細介紹
KEYENCE基恩士 分光干涉式晶片厚度計 SI-F80R 系列 電/微 詳詢 趙13062644508
產品特性
即使已貼附背面研磨帶也可測量晶片厚度
大幅降低圖案的影響
可在生產線上進行測量
自動映射整個晶片的厚度分布
KEYENCE基恩士 分光干涉式晶片厚度計 SI-F80R 系列 電/微 詳詢 趙13062644508
KEYENCE基恩士 分光干涉式晶片厚度計 SI-F80R 系列 電/微 詳詢 趙13062644508
采用近紅外 SLD，即使已貼附 BG 帶也可測量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于圖案而產生的顯著差異，也可實現準確的生產線上測量。
產品特性
即使已貼附背面研磨帶也可測量晶片厚度
大幅降低圖案的影響
可在生產線上進行測量
自動映射整個晶片的厚度分布