容器組件
真空泵
- 產品名稱： 真空泵
- 產品型號：SDL系列
- 產品廠商：日本樫山kashiyama
- 產品文檔：
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簡單介紹
真空泵
的詳細介紹
日本樫山kashiyama 真空泵 SDL系列 電/微 詳詢 趙13062644508
產品特點
無油潔凈：采用無潤滑油機械結構，通過精密嚙合轉子實現氣體壓縮，全程無油，可避免油蒸氣對工藝腔體的污染，適用于如半導體晶圓制造、LED 封裝等對潔凈度要求極高的工藝。
耐腐蝕性強：轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，能耐受酸性氣體（如 HCl、Cl?）和顆粒物，可用于處理腐蝕性氣體的場景。
抽氣性能優越：抽速范圍廣，為 10 - 1,500m3/h，極限真空可達 0.1Pa（0.001mbar），*大抽速可達 10,000L/min，能夠快速有效地抽取氣體，滿足不同應用場景的真空需求。
高效節能：配備變頻驅動（VFD），可調節轉速，相比油封泵能耗降低 30% - 50%。部分型號通過新型加熱器系統與機械結構優化，實現了低功耗化。
智能控制：具有實時參數顯示功能，可通過觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網）輸出真空度、溫度、功耗等數據。還設有自診斷系統，利用振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進入）進行預警，并自動停機保護。
功能靈活：部分型號支持氮氣吹掃功能，氮氣流量可在 0 至 80SLM 范圍內調節，增強了工藝靈活性。此外，產品兼容性好，支持與同系列設備協同工作，可擴展應用場景。
應用領域
半導體制造：適用于晶圓制造過程中的 CVD/PVD 設備抽真空、光刻、蝕刻等關鍵工藝，可提供高真空度和潔凈的真空環境，避免油污染，滿足 Class 1000 潔凈環境要求。
LED 封裝：可用于固晶機、焊線機的無油真空吸附，確保封裝過程的潔凈度，提高產品質量。
化工領域：可用于處理腐蝕性氣體，以及各種化工行業的溶劑回收、脫水、干燥等工藝。
制藥行業：例如凍干機中的藥品凍干工藝，提供無油真空保障，符合 GMP 要求。
其他領域：適用于實驗室的高純度實驗環境控制，以及電子 / 電池、環保、能源等領域中對真空度和潔凈度有要求的工藝。
日本樫山kashiyama 真空泵 SDL系列 電/微 詳詢 趙13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 SDL系列 電/微 詳詢 趙13062644508
產品特點
無油潔凈：采用無潤滑油機械結構，通過精密嚙合轉子實現氣體壓縮，全程無油，可避免油蒸氣對工藝腔體的污染，適用于如半導體晶圓制造、LED 封裝等對潔凈度要求極高的工藝。
耐腐蝕性強：轉子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，能耐受酸性氣體（如 HCl、Cl?）和顆粒物，可用于處理腐蝕性氣體的場景。
抽氣性能優越：抽速范圍廣，為 10 - 1,500m3/h，極限真空可達 0.1Pa（0.001mbar），*大抽速可達 10,000L/min，能夠快速有效地抽取氣體，滿足不同應用場景的真空需求。
高效節能：配備變頻驅動（VFD），可調節轉速，相比油封泵能耗降低 30% - 50%。部分型號通過新型加熱器系統與機械結構優化，實現了低功耗化。
智能控制：具有實時參數顯示功能，可通過觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網）輸出真空度、溫度、功耗等數據。還設有自診斷系統，利用振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進入）進行預警，并自動停機保護。
功能靈活：部分型號支持氮氣吹掃功能，氮氣流量可在 0 至 80SLM 范圍內調節，增強了工藝靈活性。此外，產品兼容性好，支持與同系列設備協同工作，可擴展應用場景。
應用領域
半導體制造：適用于晶圓制造過程中的 CVD/PVD 設備抽真空、光刻、蝕刻等關鍵工藝，可提供高真空度和潔凈的真空環境，避免油污染，滿足 Class 1000 潔凈環境要求。
LED 封裝：可用于固晶機、焊線機的無油真空吸附，確保封裝過程的潔凈度，提高產品質量。
化工領域：可用于處理腐蝕性氣體，以及各種化工行業的溶劑回收、脫水、干燥等工藝。
制藥行業：例如凍干機中的藥品凍干工藝，提供無油真空保障，符合 GMP 要求。
其他領域：適用于實驗室的高純度實驗環境控制，以及電子 / 電池、環保、能源等領域中對真空度和潔凈度有要求的工藝。