容器組件
真空泵
- 產品名稱：真空泵
- 產品型號： MU系列
- 產品廠商：日本樫山kashiyama
- 產品文檔：
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簡單介紹
真空泵
的詳細介紹
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列 電/微 詳詢 趙13062644508
無油潔凈：采用無油運轉設計，通過精密嚙合轉子實現氣體壓縮，全程無潤滑油，避免油蒸氣污染，可確保工藝腔體潔凈無殘留，適合敏感工藝如晶圓加工。
抽氣性能優越：抽速范圍廣，從較小抽速到較大抽速的型號都有，如 MU1200XE *大抽速可達 20,000L/min。極限壓力低，可達 0.1Pa 甚至更低。能快速有效地抽取氣體，滿足不同應用場景的真空需求，可在短時間內將真空腔室抽到所需的真空度。
節能環保：配備低功耗電機，運行能效比優于同類產品，降低了能耗與運行成本。同時采用變頻驅動（VFD）調節轉速，可根據實際需求調整抽氣速度，進一步節能，能耗較油封泵可降低 30%-50%。
結構緊湊：尺寸相對較小，如 MU1200XE 尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設備中，適合設備集成和改造項目，可靈活安裝在各種生產線上，不占用過多空間。
維護便捷：采用模塊化結構，檢修流程簡單，無需復雜的拆卸和組裝過程，可降低維護成本和停機時間。維護人員可快速定位和更換故障模塊，減少設備停機維修時間，提高設備利用率。
運行穩定：摩擦部件少，可承受連續運轉，不易出現故障。且噪音低、振動小，連續排氣無脈動，能為工作環境提供較好的條件，減少對工作場所的噪音污染和振動干擾。
智能控制：具有實時參數顯示功能，可通過觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網）輸出真空度、溫度、功耗等數據。還配備自診斷系統，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進入）進行預警，并自動停機保護，方便操作人員實時監控設備運行狀態，及時發現和處理問題。
主要型號及參數
常見型號：包括 MU100PE/HE、MU300PE/HE、MU600PE/HE、MU1200XE、MU1800E、MU3000 等。
電源電壓：通常為三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：以 MU100PE/HE 為例，外形尺寸為 630×350×360mm；MU300PE/HE 的外形尺寸為 630×350×520mm。
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列 電/微 詳詢 趙13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列 電/微 詳詢 趙13062644508
無油潔凈：采用無油運轉設計，通過精密嚙合轉子實現氣體壓縮，全程無潤滑油，避免油蒸氣污染，可確保工藝腔體潔凈無殘留，適合敏感工藝如晶圓加工。
抽氣性能優越：抽速范圍廣，從較小抽速到較大抽速的型號都有，如 MU1200XE *大抽速可達 20,000L/min。極限壓力低，可達 0.1Pa 甚至更低。能快速有效地抽取氣體，滿足不同應用場景的真空需求，可在短時間內將真空腔室抽到所需的真空度。
節能環保：配備低功耗電機，運行能效比優于同類產品，降低了能耗與運行成本。同時采用變頻驅動（VFD）調節轉速，可根據實際需求調整抽氣速度，進一步節能，能耗較油封泵可降低 30%-50%。
結構緊湊：尺寸相對較小，如 MU1200XE 尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設備中，適合設備集成和改造項目，可靈活安裝在各種生產線上，不占用過多空間。
維護便捷：采用模塊化結構，檢修流程簡單，無需復雜的拆卸和組裝過程，可降低維護成本和停機時間。維護人員可快速定位和更換故障模塊，減少設備停機維修時間，提高設備利用率。
運行穩定：摩擦部件少，可承受連續運轉，不易出現故障。且噪音低、振動小，連續排氣無脈動，能為工作環境提供較好的條件，減少對工作場所的噪音污染和振動干擾。
智能控制：具有實時參數顯示功能，可通過觸摸屏或遠程接口（Modbus / 以太網）輸出真空度、溫度、功耗等數據。還配備自診斷系統，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進入）進行預警，并自動停機保護，方便操作人員實時監控設備運行狀態，及時發現和處理問題。
主要型號及參數
常見型號：包括 MU100PE/HE、MU300PE/HE、MU600PE/HE、MU1200XE、MU1800E、MU3000 等。
電源電壓：通常為三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：以 MU100PE/HE 為例，外形尺寸為 630×350×360mm；MU300PE/HE 的外形尺寸為 630×350×520mm。