容器組件
真空泵
- 產品名稱：真空泵
- 產品型號： SDE系列
- 產品廠商：日本樫山kashiyama
- 產品文檔：
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簡單介紹
真空泵
的詳細介紹
日本樫山kashiyama 真空泵 SDE系列 電/微 詳詢 趙13062644508
大抽氣速率：以 SDE90X 為例，抽氣速率為 58L/s，*大抽速可達 1300L/min，能快速抽取氣體，適用于大尺寸晶圓和 FPD 基板處理等需要大排量抽氣的場景。
節能：屬于節能型產品，如 SDE90X 功率為 1.3kW，相比傳統類型可降低 54% 的功耗，通過參數優化實現了能源有效利用。
極限壓力低：能提供較高真空度，例如 SDE90X 極限壓力可達 57Pa，滿足對真空環境要求較高的工藝需求。
耐用性強：SDE - X 系列采用耐腐蝕結構材料并具備溫度控制功能，可承受各種復雜工藝流程，適合連續運轉，減少故障發生頻率。
適應性廣：可通過設置適應廣泛工藝需求，能有效排出含有水蒸氣或水滴的氣體、易燃或腐蝕性氣體等。
噪音低、振動小：運行時噪音和振動小，營造相對安靜的工作環境，減少對周邊設備和環境的影響。
維護方便：軸封采用機械密封，便于維護和保養，降低維護成本和停機時間。
結構緊湊：如 SDE90X 外形尺寸為 370mm×557mm×690mm，重量為 32kg，整體結構緊湊、重量輕，便于安裝和集成到各種設備中。
主要型號及參數
電源電壓：通常為三相 AC200 - 220V（50/60Hz），部分型號也可提供 380 - 480V 電壓選擇。
常見型號：包括 SDE90X、SDE120TX、SDE200、SDE303X/TX、SDE603X/TX、SDE1203X/TX、SDE20N12TX、SDE30N20、SDE60N20 等。
應用領域
半導體制造：在半導體晶圓制造過程中的蝕刻、鍍膜、光刻等工藝，需要快速抽取大量氣體以維持高真空度，SDE 系列真空泵的大抽氣速率和低極限壓力能夠滿足這些工藝要求。
平板顯示（FPD）制造：用于 FPD 基板的處理，如液晶面板、有機發光二極管（OLED）面板的生產過程中，需要對真空鍍膜、封裝等工藝提供穩定的真空環境，SDE 系列真空泵可有效抽取工藝過程中產生的氣體，保證產品質量。
其他領域：還可應用于需要處理大氣體排量、高真空度的化工、制藥、科研等領域，例如化工工藝中的蒸餾、干燥過程，以及科研實驗室中的真空鍍膜實驗、真空干燥實驗等。
日本樫山kashiyama 真空泵 SDE系列 電/微 詳詢 趙13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 SDE系列 電/微 詳詢 趙13062644508
大抽氣速率：以 SDE90X 為例，抽氣速率為 58L/s，*大抽速可達 1300L/min，能快速抽取氣體，適用于大尺寸晶圓和 FPD 基板處理等需要大排量抽氣的場景。
節能：屬于節能型產品，如 SDE90X 功率為 1.3kW，相比傳統類型可降低 54% 的功耗，通過參數優化實現了能源有效利用。
極限壓力低：能提供較高真空度，例如 SDE90X 極限壓力可達 57Pa，滿足對真空環境要求較高的工藝需求。
耐用性強：SDE - X 系列采用耐腐蝕結構材料并具備溫度控制功能，可承受各種復雜工藝流程，適合連續運轉，減少故障發生頻率。
適應性廣：可通過設置適應廣泛工藝需求，能有效排出含有水蒸氣或水滴的氣體、易燃或腐蝕性氣體等。
噪音低、振動小：運行時噪音和振動小，營造相對安靜的工作環境，減少對周邊設備和環境的影響。
維護方便：軸封采用機械密封，便于維護和保養，降低維護成本和停機時間。
結構緊湊：如 SDE90X 外形尺寸為 370mm×557mm×690mm，重量為 32kg，整體結構緊湊、重量輕，便于安裝和集成到各種設備中。
主要型號及參數
電源電壓：通常為三相 AC200 - 220V（50/60Hz），部分型號也可提供 380 - 480V 電壓選擇。
常見型號：包括 SDE90X、SDE120TX、SDE200、SDE303X/TX、SDE603X/TX、SDE1203X/TX、SDE20N12TX、SDE30N20、SDE60N20 等。
應用領域
半導體制造：在半導體晶圓制造過程中的蝕刻、鍍膜、光刻等工藝，需要快速抽取大量氣體以維持高真空度，SDE 系列真空泵的大抽氣速率和低極限壓力能夠滿足這些工藝要求。
平板顯示（FPD）制造：用于 FPD 基板的處理，如液晶面板、有機發光二極管（OLED）面板的生產過程中，需要對真空鍍膜、封裝等工藝提供穩定的真空環境，SDE 系列真空泵可有效抽取工藝過程中產生的氣體，保證產品質量。
其他領域：還可應用于需要處理大氣體排量、高真空度的化工、制藥、科研等領域，例如化工工藝中的蒸餾、干燥過程，以及科研實驗室中的真空鍍膜實驗、真空干燥實驗等。