日本樫山kashiyama     真空泵     SD系列    電/微   詳詢   趙13062644508

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型號與規格
常見型號：包括 SDX600、SDT600、SDX1200、SDT1200、SDX1800、SDT1800、SDH3000、SDH6000 等。
電源電壓：三相 AC200-220V，50/60Hz。
抽氣速率：不同型號抽氣速率不同，如 SDX600 型為 10,000L/min，SDT600 系列為 18,000L/min，SDH6000 可達 60,000L/min。
功耗：范圍從 1.5kW 到 3.7kW 不等，例如 SDX600 功耗為 1.5kW，SDH6000 功率為 3.7kW。
外形尺寸：以 SDH6000 為例，長度為 1050mm、寬度為 515mm，高度為 950mm。
產品特點
節能性好：SDX 系列屬于節能型產品，通過新型加熱器系統與機械結構優化，實現低功耗化，在降低能源消耗的同時，也有助于降低使用成本。
工藝耐性強：SDT/SDH 系列具有 Super Hirsch 對應和工藝耐性的特點，能夠適應各種復雜工藝環境，可在高顆粒負載、強化學腐蝕性、高工藝氣體流量等惡劣條件下穩定運行。
無油干式設計：采用無潤滑油機械結構，可避免介質污染，能保持泵腔內部清潔，防止油蒸汽對被抽氣體的污染，適用于超潔凈工藝環境，如半導體晶圓制造、液晶顯示制造等對真空環境要求極高的領域。
吹掃功能靈活：部分型號支持氮氣吹掃功能，氮氣流量可在一定范圍內調節，如 SDH6000 的氮氣流量可在 0 至 80SLM 范圍內調節，這有助于增強工藝靈活性，可用于**泵內殘留氣體、防止氣體反擴散等，提高真空泵的性能和穩定性。
抽氣能力強勁：該系列真空泵抽氣速度快，極限壓力低，如 SDH6000 *大抽速可達 60,000L/min，極限壓力為 0.5Pa，能快速有效地抽取氣體，滿足不同應用場景的真空需求，可在短時間內將真空腔室抽到所需的真空度。
冷卻需求較低：冷卻水流量需求較低，例如 SDH6000 的冷卻水流量僅需 4.0L/min，對冷卻系統要求不高，可降低運行成本和設備復雜度，減少了因冷卻系統故障而導致的設備停機風險。
**可靠穩定：符合工業**標準，配備高**性防護設計，如過載保護、過熱保護、漏電保護等功能，能在各種工況下穩定運行，保障設備和操作人員的**。
產品兼容性佳：支持與同系列設備協同工作，可擴展應用場景，通過多臺真空泵的組合使用，可以滿足更大抽氣速率和更高真空度的要求，例如 SDH6000 可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用。