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容器組件

kakuhunter寫真化學 晶圓映射膜厚測量裝置

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kakuhunter寫真化學 晶圓映射膜厚測量裝置

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晶圓映射裝置能夠在*大 300 mm 的晶圓的整個表面進行自動映射膜厚測量。自動對位功能、自校準功能和高平整度晶圓卡盤可實現高度可靠的薄膜厚度測量。該裝置與小型膜厚監視器組合使用。
它可以安裝在半導體制造設備的負載端口,以控制制造設備上的薄膜厚度,同時保持清潔度。




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