HORIBA堀場制作所 非接觸式化學(xué)藥液濃度計CS-900

HORIBA堀場制作所 非接觸式化學(xué)藥液濃度計CS-900

HORIBA堀場制作所 非接觸式化學(xué)藥液濃度計CS-900

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下一代濕法制程。HORIBA 提供提升產(chǎn)能的化學(xué)藥液濃度管理設(shè)備，以幫助改進制程。

為達到半導(dǎo)體濕法制程中所需的嚴格化學(xué)藥液濃度控制，HORIBA 通過設(shè)計緊湊設(shè)備，以及通過其原有傳感器設(shè)計保持穩(wěn)定測量和確保操作人員**，實現(xiàn)更強大功能以滿足需求。

概要

全部無接觸，高度穩(wěn)定

從外部將傳感器直接連接到 PFA 管路，實現(xiàn)零污染。這消除了在安裝傳感器時進行管路施工的要求，從而減少化學(xué)事故。此外，通過升級光學(xué)系統(tǒng)，設(shè)備變得更加緊湊，同時保留 CS-600F*1 的原始規(guī)格。

高質(zhì)量、穩(wěn)定測量

• 零污染

• 配備溫度補償功能，實現(xiàn)穩(wěn)定測量

• 配備 HORIBA 原始算法，補償氣泡影響

• 重復(fù)性和穩(wěn)定性與常規(guī)的 CS-600*1 相同

抑制振動效應(yīng)

• HORIBA 采用抗錯位強的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，與 HORIBA 的原始管路結(jié)構(gòu)協(xié)同配合。

節(jié)省空間

• 光源和光學(xué)傳感器已集成至樣品單元。

• 平板顯示器（9.6cm x 9.6cm）

光源壽命更長

• 使用 LED 燈，延長使用壽命（5 年質(zhì)保期）

提高工作**性

• 每半年一次的背景校正補償周期

• 安裝產(chǎn)品時無需安裝管路，有助于減少化學(xué)藥液泄漏等事故。

*1 CS-600 是 HORIBA 的光纖型化學(xué)藥液濃度計。

不使用光纖的光學(xué)設(shè)計和主機，加上傳感器的縮小提升了安裝的自由度

對于寬溫度范圍（20℃ 至 80℃）的化學(xué)藥液，可進行直接、穩(wěn)定的測量