HORIBA堀場(chǎng)制作所 腔室清洗氣體監(jiān)測(cè)儀IR-422

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更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理

IR-400 可在沉積過程中實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)腔室清洗終點(diǎn)。通過優(yōu)化清洗過程，IR-400 減少了清洗時(shí)間和氣體用量。清洗氣體用量減少會(huì)降低對(duì)腔室的損害，并增加所有系統(tǒng)部件的壽命。

概要

多氣體監(jiān)測(cè)（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)

• 高靈敏度

• 氣室加熱功能*高可達(dá) 180℃

• 多重顯示

• 模擬/數(shù)字通信

IR-400 實(shí)時(shí)終點(diǎn)監(jiān)測(cè)的優(yōu)勢(shì)

• 減少腔室清洗時(shí)間

• 減少清洗氣體使用量

• 可重復(fù)和可預(yù)測(cè)的清洗過程

• 延長(zhǎng)腔室組件壽命

應(yīng)用示例 

• 監(jiān)控室排氣管線

測(cè)量技術(shù)

可靠、高性能
非分散紅外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的紅外吸收法利用測(cè)量紅外光源發(fā)出的紅外光中氣體分子吸收的原理。將吸收了被測(cè)氣體的樣品輸出與無(wú)吸光度的參考輸出進(jìn)行對(duì)比，并將結(jié)果轉(zhuǎn)換成氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長(zhǎng)期穩(wěn)定的測(cè)量結(jié)果。

光學(xué)系統(tǒng)由光源、氣室和雙光束檢測(cè)器組成。雙光束檢測(cè)器的穩(wěn)定性已得到 40 多年的驗(yàn)證。

配置