HORIBA堀場制作所 數字式液體質量流量計LF-F60M-A

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LF-F 和 LV-F 系列數字式液體質量流量控制器采用珀爾帖元件冷卻液體，而非更常見的熱交換方法。該技術消除了低沸點化學物質沸騰的風險，從而實現更**的化學控制。

概要

• 提供微升至超低流量控制

• 實現低沸點和高粘度液體材料的**流量控制

• 超潔凈設計

測量技術

冷卻測量方法
該系列液體質量流量控制器中的流量傳感器由與毛細管接觸的電子冷卻元件（珀爾帖元件）以及幾個溫度檢測元件組成。當液體流動時，傳感器檢測對應流量的溫升（ΔT），并以流量顯示。與熱交換不同，這種冷卻方法能夠測量低沸點液體的流量。此外，該方法還能防止由于二次排放（汽化）的影響而產生的干擾問題，使**的流量測量成為可能。

結構/工作原理
LV-F 和 LF-F 系列質量流量計采用相同的測量原理。LV-F 系列還配備一個壓電閥和一個內部比較控制回路。對流量設定信號和流量輸出信號進行比較，并自動控制閥門孔徑，使兩個信號匹配以控制液體。由于采用了反饋控制系統，不會因外部因素而導致流量變化，因此確保了穩定和**的控制。

配置