容器組件
HORIBA堀場(chǎng)制作所 排氣壓力控制器
- 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場(chǎng)制作所 排氣壓力控制器
- 產(chǎn)品型號(hào)：EC-5202
- 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場(chǎng)制作所
- 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場(chǎng)制作所 排氣壓力控制器EC-5202
HORIBA堀場(chǎng)制作所 排氣壓力控制器
的詳細(xì)介紹HORIBA堀場(chǎng)制作所 排氣壓力控制器EC-5202
HORIBA堀場(chǎng)制作所 排氣壓力控制器EC-5202
HORIBA堀場(chǎng)制作所 排氣壓力控制器EC-5202
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EC-5000 系列排氣壓力控制器可將處理室的壓力值維持在客戶設(shè)定的范圍。高分辨率步進(jìn)電機(jī)和蝶閥設(shè)計(jì)確保對(duì)任何壓力變化做出快速、靈敏的響應(yīng)。
概要
優(yōu)點(diǎn):
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適用于高真空環(huán)境：不銹鋼機(jī)身
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抗腐蝕：PTFE 機(jī)身可選
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RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
當(dāng)排氣流量被調(diào)整到適合水平：
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抗蝕劑以薄膜形式均勻分布
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防止煙霧的二次沉積
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防止危險(xiǎn)蒸氣擴(kuò)散
與流量傳感器控制相比，由抗蝕劑和其他污染物累積引起的靈敏度變化較小，同時(shí)消除了湍流和其他噪聲的影響，確保控制精準(zhǔn)、穩(wěn)定、迅速。
