容器組件
HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器
- 產品名稱：HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器
- 產品型號：FS-3000
- 產品廠商：HORIBA堀場制作所
- 產品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器FS-3000
HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器
的詳細介紹HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器FS-3000
HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器FS-3000
HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器FS-3000
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FS-3000 結合了 HORIBA STEC 質量流量控制器（MFC）和 MuCube（主控制器）的功能。通過配備 HORIBA STEC 專有控制算法的 MuCube 控制 MFC，FS-3000 實現了穩定的分流控制。
控制算法通過控制流量比實現穩定的分流控制，同時利用 HORIBA STEC 控制優化技術控制 FS-3000 上流壓力。此外，即使分流比改變，控制算法也能實現對分流的高速響應。
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提高可擴展性、維護性能。FS-3000 可通過高速信號處理分離多達 15 個通道。若 MFC 出現故障，僅需更換故障從機即可。
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靈活響應所需規格 FS-3000 支持混合氣體在內的多種氣體。此外，FS-3000 還支持 RS-485、DeviceNet 等用戶接口。
