HORIBA堀場制作所 新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z714SMG

HORIBA堀場制作所 新型壓力補償質量流量控制器SEC-Z714SMG

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SEC-Z700S 系列配備了新開發的熱傳感器和壓力補償功能，可實現穩定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統的成本、尺寸和復雜性。新功能簡化了供氣系統。典型的多腔室氣體管線具有管線調節器、壓力傳感器和過濾器，以避免由壓力波動引起的質量流量控制器串擾現象。SEC-Z700S 系列可以不受上流和下流壓力的影響，提供穩定的流量控制。提供流量輸出、溫度和壓力讀數。

基本特征

• 多氣體/多量程功能，客戶可以更改氣體類型和滿量程流量

• 穩定控制氣流，不受上流和下流壓力波動的影響

• 集成多重顯示

• 超潔凈設計：金屬隔膜，全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理（標準）

• 尺寸緊湊，50 SLM 以內采用相同的安裝尺寸

• 信號兼容：支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通訊模式

主要特征

• 確保 1% 設定點精度（流量≥5%）

• 高重復性（≤±0.15% 設定點/流量≥5%）

• 范圍控制廣（0.5-100% 滿量程）

• 可調響應（300ms≤t≤1000ms）

• 高操作溫度（15-60℃）

• 低閥座泄漏（≤0.1% 滿量程/#01-#06）

• 高耐腐蝕性設計