HORIBA堀場制作所 高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器D727MG

HORIBA堀場制作所 高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器D727MG

HORIBA堀場制作所 高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器D727MG

更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理

高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器

關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設(shè)備，以實現(xiàn)未來的**，以及**的存儲和邏輯設(shè)備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰(zhàn)。

概要

• 工具上氣體和全尺寸配置更改 *僅 EtherCAT 

• 為流程優(yōu)化提供靈活性

• 100 ms 響應(yīng)速度和mfc到mfc的偏差控制

• 提供高生產(chǎn)力和更大的過程性能

• 小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）

• 為需要小流量的工藝提供靈活性

• PFA 噴嘴具有更好的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能

• 穩(wěn)定性性和較小的顆粒風(fēng)險，減少停機時間和優(yōu)化產(chǎn)量

• 狀態(tài)監(jiān)控功能

• 為更智能的故障預(yù)測提供更多的內(nèi)部數(shù)據(jù)