容器組件
FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇
簡單介紹
FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇
FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇
FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇 不需要阻尼器，實現低脈動，有助于降低總成本 它通過適用于單晶圓工藝的出色負載跟隨性實現穩定工作
FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇
的詳細介紹FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇
FLP-60W 氣動低脈動波紋管泵 IWAKI 易威奇
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產品特點
低脈動：根據激光位移傳感器和接近開關的信號，控制器始終跟蹤波紋管的位置。通過控制器判斷左右波紋管的*合適相位覆蓋量，并通過切換電磁閥來減小脈動。
優異的負載跟隨性，適用于單晶圓工藝：通過執行相位控制改善了負載波動的可跟隨性。特別是在頻繁發生壓力波動的生產線中，例如單張紙加工，其高負荷跟隨能力實現了排出量和排出壓力的穩定操作。
無需阻尼器，節省空間：由于不需要安裝阻尼器，因此實現了裝置的節省空間。管道工作也很容易，可以減少昂貴的管道材料，如氟樹脂配件，有助于更小更輕的設備。
**設計：波紋管焊接結構可防止液體泄漏，即使波紋管破裂，也會采用檢測漏液的泄漏傳感器，因此您可以放心使用。
產品規格
| *大放電量注意1 L/min | 50 | ||||
| *大脈動壓力寬度MPa | 0.06 | ||||
|
可用的液體溫度范圍 （*大供氣壓力）°C（MPa） |
5 ? 100（0.5）、101 ? 150（0.4）、151 ? 180（0.3） | ||||
| 供氣壓力MPa | 0.41 ? 0.5 | 0.31 ? 0.4 | 0.21 ? 0.3 | 0.11 ? 0.2 | 0.1 |
| spm的*大筆畫數 | 120 | 140 | 155 | 160 | |
| *大空氣消耗量NL / min | 464 | 419 | 338 | 252 | 116 |
| *大液體輸送粘度mPa?s | 50 | ||||
| 自吸能力注2m | 1 | ||||
| 工作環境溫度/濕度℃/％RH | 0至60（不凍結）/ 35至85（無冷凝） | ||||
| 儲存環境溫度/濕度℃/％RH | -10至60（不凍結）/ 35至95（無冷凝） | ||||
| 安裝環境 | 室內（塵埃較少的環境），劇烈振動/沒有沖擊，水/油等不擴散，沒有腐蝕性氣體，使泵材料顯著惡化 | ||||
| 防爆 | 非防爆結構（不適用于易燃或爆炸性氣體/液體環境） | ||||
| 使用條款 | 間歇性操作 | ||||
| 使用方法 | 驅動空氣外部強制切換系統 | ||||
| 連接管道口mm | φ25×φ22（管） | ||||
| 供氣連接口直徑 | Rc 3 | ||||
| 空氣吹掃端口連接端口 | φ6的單觸式接頭 | ||||
| 重量kg | 22 | ||||
