FLP-60W 氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 IWAKI 易威奇FLP-60W
- 產(chǎn)品名稱(chēng)：FLP-60W 氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 IWAKI 易威奇FLP-60W
- 產(chǎn)品型號(hào)：FLP-60W型
- 產(chǎn)品廠商：IWAKI 易威奇
- 產(chǎn)品文檔：
FLP-60W 氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 IWAKI 易威奇FLP-60W
的詳細(xì)介紹FLP-60W 氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 IWAKI 易威奇FLP-60W
FLP-60W 氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 IWAKI 易威奇FLP-60W
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FLP-60W 氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 IWAKI 易威奇FLP-60W
FLP-60W 氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 IWAKI 易威奇 不需要阻尼器，實(shí)現(xiàn)低脈動(dòng)，有助于降低總成本 它通過(guò)適用于單晶圓工藝的出色負(fù)載跟隨性實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定工作
產(chǎn)品特點(diǎn)
低脈動(dòng)：根據(jù)激光位移傳感器和接近開(kāi)關(guān)的信號(hào)，控制器始終跟蹤波紋管的位置。通過(guò)控制器判斷左右波紋管的*合適相位覆蓋量，并通過(guò)切換電磁閥來(lái)減小脈動(dòng)。
優(yōu)異的負(fù)載跟隨性，適用于單晶圓工藝：通過(guò)執(zhí)行相位控制改善了負(fù)載波動(dòng)的可跟隨性。特別是在頻繁發(fā)生壓力波動(dòng)的生產(chǎn)線中，例如單張紙加工，其高負(fù)荷跟隨能力實(shí)現(xiàn)了排出量和排出壓力的穩(wěn)定操作。
無(wú)需阻尼器，節(jié)省空間：由于不需要安裝阻尼器，因此實(shí)現(xiàn)了裝置的節(jié)省空間。管道工作也很容易，可以減少昂貴的管道材料，如氟樹(shù)脂配件，有助于更小更輕的設(shè)備。
**設(shè)計(jì)：波紋管焊接結(jié)構(gòu)可防止液體泄漏，即使波紋管破裂，也會(huì)采用檢測(cè)漏液的泄漏傳感器，因此您可以放心使用。
產(chǎn)品規(guī)格
| *大放電量注意1 L/min | 50 | ||||
| *大脈動(dòng)壓力寬度MPa | 0.06 | ||||
|
可用的液體溫度范圍 （*大供氣壓力）°C（MPa） |
5 ? 100（0.5）、101 ? 150（0.4）、151 ? 180（0.3） | ||||
| 供氣壓力MPa | 0.41 ? 0.5 | 0.31 ? 0.4 | 0.21 ? 0.3 | 0.11 ? 0.2 | 0.1 |
| spm的*大筆畫(huà)數(shù) | 120 | 140 | 155 | 160 | |
| *大空氣消耗量NL / min | 464 | 419 | 338 | 252 | 116 |
| *大液體輸送粘度mPa?s | 50 | ||||
| 自吸能力注2m | 1 | ||||
| 工作環(huán)境溫度/濕度℃/％RH | 0至60（不凍結(jié)）/ 35至85（無(wú)冷凝） | ||||
| 儲(chǔ)存環(huán)境溫度/濕度℃/％RH | -10至60（不凍結(jié)）/ 35至95（無(wú)冷凝） | ||||
| 安裝環(huán)境 | 室內(nèi)（塵埃較少的環(huán)境），劇烈振動(dòng)/沒(méi)有沖擊，水/油等不擴(kuò)散，沒(méi)有腐蝕性氣體，使泵材料顯著惡化 | ||||
| 防爆 | 非防爆結(jié)構(gòu)（不適用于易燃或爆炸性氣體/液體環(huán)境） | ||||
| 使用條款 | 間歇性操作 | ||||
| 使用方法 | 驅(qū)動(dòng)空氣外部強(qiáng)制切換系統(tǒng) | ||||
| 連接管道口mm | φ25×φ22（管） | ||||
| 供氣連接口直徑 | Rc 3 | ||||
| 空氣吹掃端口連接端口 | φ6的單觸式接頭 | ||||
| 重量kg | 22 | ||||