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容器組件

IWAKI 易威奇氣動波紋管泵(FA-2E-1)

  • 產(chǎn)品名稱:IWAKI 易威奇氣動波紋管泵(FA-2E-1)
  • 產(chǎn)品型號:FA-2E-1型
  • 產(chǎn)品廠商:IWAKI 易威奇
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
IWAKI 易威奇氣動波紋管泵(FA-2E-1) IWAKI 易威奇氣動波紋管泵(FA-2E-1)

IWAKI 易威奇氣動波紋管泵(FA-2E-1)

的詳細介紹

IWAKI 易威奇氣動波紋管泵(FA-2E-1)

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IWAKI 易威奇氣動波紋管泵(FA-2E-1)

IWAKI 易威奇氣動波紋管泵(FA-2E-1)

氣動波紋管泵 FA系列 用于晶圓清潔,氣動波紋管泵。 我們采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型對FA - 2型水平流型進行了標準化。 FA-2型適用于噴涂單晶圓加工,F(xiàn)A-40VEW型適用于清洗200/300 mm晶圓。

用于晶圓清潔

氣動波紋管泵

兩種中溫規(guī)格

我們采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型對FA - 2型水平流型進行了標準化。 FA-2型適用于噴涂單晶圓加工,F(xiàn)A-40VEW型適用于清洗200/300 mm晶圓。

厚厚的波紋管

FA - 40VEW型采用厚波紋管。 它是一種長壽命設(shè)計,具有出色的耐壓性,可承受長期連續(xù)運行。

傳感器驅(qū)動方式

氟樹脂用于所有潤濕部件。 它是一種無污染的設(shè)計,不使用橡膠或金屬,例如在泵的外圓周上涂覆氟樹脂涂層。 此外,由于FF-H系列的主體和波紋管是完全焊接的,因此熱循環(huán)不會有液體泄漏。

簡單操作

通過連接到專用控制器,可以輕松控制和管理排放量。


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