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容器組件

FF-40HT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇

  • 產品名稱:FF-40HT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇
  • 產品型號:FF-40HT1型
  • 產品廠商:IWAKI 易威奇
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簡單介紹
FF-40HT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇 FF-40HT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇

FF-40HT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇

的詳細介紹

FF-40HT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇

FF-40HT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇

FF-40HT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇

FF-40HT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇

FF-40HT1 化學溶液補給泵 IWAKI 易威奇

簡單介紹:
化學溶液補給泵| CFD 每次注射1 mL,點膠性能大幅提升 通過將排出量設定為每次注射1mL,與常規分配性能相比,分配性能顯著提高。 通過在必要時注入必要的*小量,可以高精度地執行晶片清潔溶液的濃度控制。 此外,可以抑制濃度的過沖,這導致洗滌溶液的成本降低。 另外,內置虹吸防止機構以防止化學液體流出。

詳情介紹

產品特點

提高點膠性能:通過將排出量設定為每次注射1mL,與常規分配性能相比,分配性能顯著提高。 通過在必要時注入必要的*小量,可以高精度地執行晶片清潔溶液的濃度控制。 此外,可以抑制濃度的過沖,這導致洗滌溶液的成本降低。 另外,內置虹吸防止機構以防止化學液體流出。

耐腐蝕結構儀表:潤濕部分由全氟聚合物(PTFE,PFA,PCTFE)制成,并且它可以對應于用于半導體應用的化學品,例如酸,堿和過氧化氫。 此外,泵的外部采用樹脂(PTFE,PFA,PP,PVC)和PTFE涂層螺釘,具有高耐腐蝕結構。
它對應于寬放電設置:通過拆下泵底部的蓋子可以很容易地調整行程長度。 每次注射*多可放電2.7 mL。 (出貨時,1毫升/次)
泄漏傳感器標準設備:泄漏傳感器即使在破碎的波紋管作為標準配置時也能快速響應。

產品規格

一般規格
用途 薬液補充用途
排出量 1mL/shot
*大排放壓力 0.05MPa
處理液體溫度范圍 20~60℃
*大沖程數 30spm
供氣壓力 0.15~0.3MPa
*大耗氣量 2.5NL/min
接液部件材料 PTFE、PFA、PCTFE
泵連接端口直徑 1/4”PFAチューブ(φ6.35×4.35)
供氣連接口直徑 Rc1/8
重量 1.1kg
光傳感器規格
形式 透射式微光電傳感器
電源電壓 5~24V DC±10%
輸出格式 NPN晶體管·集電極開路
允許電流 50mA以下
代碼 PVC 4芯電纜外徑φ5.2mm電纜長度5 m帶圓形端子(0.5 - 4)

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